关于用铸造法和溅射成形法制备铝合金溅射靶材，铸造法的缺陷是靶材易产生偏析现象，影响溅镀薄膜的质量，且溅镀靶表面易产生微颗粒，影响薄膜性质的均匀性。溅射成形法虽然能防止铸造法的缺陷，但工艺复杂，制备成本较高，质量不易控制。关于铝合金溅射靶材的制作工艺，就让北京瑞弛的小编带领大家一起了解一下。
采用气喷粉末方法制备铝合金溅镀靶材，可以防止资料偏析和微颗粒现象，生产效率高，成本较低。其制备工艺如下;
1)熔熔金属质料。
2)然后以气喷法将该金属熔液制成金属粉末。
3)筛分合金粉，获得适当粒径的粉末。
4)最终，以真空热压法将该筛分后的金属粉末成形，制成铝合金溅镀靶材。热压成形温度为500~ 650℃，时间为80 ~ 100min，压力为20 ~50MPa;通入氩气作为维护气体，氢气作为复原气体。
