陶瓷靶材分类及氧化铟靶材概述
陶瓷靶材按材质分可以分为氧化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、碳化物陶瓷靶材和复合陶瓷靶材等。今日与大家分享的是氧化铟陶瓷靶材。
氧化铟陶瓷靶材是一种由高纯氧化铟(In₂O₃)粉末经过特殊工艺处理,如压制、烧结等步骤制成的陶瓷溅射镀膜材料。


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氧化铟陶瓷靶材的特点
1.高纯:氧化铟靶材具有很高的纯度,以确保薄膜的质量和性能。
2.优异的电学和光学性能:氧化铟具有良好的导电性和透明度,使得其靶材在制备透明导电膜时具有明显优势。
3.化学稳定性:氧化铟靶材在多种环境下表现出良好的化学稳定性,不容易被腐蚀或氧化。
4.热稳定性:在高温条件下,氧化铟靶材能保持稳定的性能,适合用于高温环境下的薄膜制备。
氧化铟陶瓷靶材的生产过程
1.原料准备:选择高纯的氧化铟原料,并进行严格的纯度检测。
2.混合成型:将氧化铟粉末与适量的添加剂混合均匀,然后通过压制或注浆等方法成型为靶材的初步形状。
3.烧结:将成型后的靶材在高温下进行烧结,以提高其致密度和机械强度。烧结过程中需要严格控制温度和时间,以确保靶材的质量和性能。
4.后续处理:对烧结后的靶材进行打磨、抛光等处理,以提高其表面平整度和光洁度。
5.检测与包装:对产品进行质量检测,包括电导率、透明度、尺寸精度等指标的测试。合格后,进行包装并入库。
氧化铟陶瓷靶材的主要应用领域
1.触摸屏和显示器:氧化铟靶材被广泛用于制备触摸屏和显示器的透明导电层,以实现高清晰度和高灵敏度的触控和显示效果。
2.太阳能电池:在太阳能电池中,氧化铟靶材可用于制备导电膜,提高电池的光电转换效率。
3.半导体和电子器件、光学领域以及军工和其他领域都发挥着重要作用。

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