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蒸发材料

钽颗粒

                    钽 ( Ta ) 颗粒


熔 点: 2996℃                   密度: 16.6g/cm3

规格:∮3*3/∮6*6mm       纯度:3N5

蒸 发 方 法: eBeam (Xlnt)

坩 埚 材 料:  graphite

备 注: 钽的高熔点限制了坩埚内衬的选择,需要高真空以减少薄膜中的氧气掺入。

(以上规格纯度均可按需定制,如需其他规格纯度,可咨询客服)


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