钛铝硅合金靶材是由高纯钛、铝、硅原料通过精细的磨粉，混粉得到的靶材。
钛铝硅多元合金用于汽车发动机制造工业，具有良好的细化结晶组织的作用，有较高的耐热、耐磨性能。用该合金制成的发动机活塞、缸体、缸盖等零件，寿命比普通合金延长35%左右。在摩托车、汽车轮毂制造方面，其铸造性能、机械加工性能、抗疲劳及抗冲击等性能，均达到并超过美国A356铝合金轮毂的性能。
利用钛铝硅多元合金获得的快凝合金，性能明显优于传统工艺生产的合金，有希望取代150-300℃范围内使用的钛基合金，可广泛应用于航天器制造工业中。另外，随着民用建筑和装饰材料工业的发展，该合金应用的潜力更大。
使用TiAlSi靶材与氮气反应溅射生成的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层，使用TiAlSi合金阴极靶材，通过改变通入的氮气来实现涂层成分的改变,从而制备多层交替涂层,提高涂层的工业应用性。由于TiAlSi合金的硬度较低,TiAlSiN涂层硬度较高,使用该种方法制备得到的软硬交替涂层，可以很好地缓解涂层应力,改善涂层塑韧性,提高涂层的耐磨性，对于提高刀具涂层的使用寿命具有重大意义。在靶材中添加少量的稀土元素，例如钇、铈等，能明显地提高刀具的抗氧化性，实现刀具的高速干式切削。
