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铜锌镍铝合金靶材 专注靶材生产厂家 - 靶材产品篇

时间:2024-11-14 作者:北京瑞弛 点击:126次

铜锌镍铝合金靶材定义:

 铜锌镍铝合金靶材是一种由铜(Cu)、锌(Zn)、镍(Ni)、铝(Al)等元素组成的合金材料,铜锌镍铝合金靶材以其高纯度、良好的导电性、耐腐蚀性和化学惰性、可定制性、优良的溅射性能。在电子、半导体、光学等领域具有广泛的应用,可用于制备各种薄膜涂层、镀膜、PVD制备以及表面涂层等。

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特性

      1.高纯度:铜锌镍铝合金靶材通常具有高纯度,确保在溅射镀膜过程中提供高质量的原子沉积。高纯度靶材可以减少杂质对薄膜性能的影响,提高薄膜的导电性、耐腐蚀性和化学稳定性。

      2.良好的导电性:由于铜、铝等元素是良好的导体,铜锌镍铝合金靶材也具有优良的导电性。这使得它在制备电子薄膜、导电涂层等方面具有广泛应用。

      3.耐腐蚀性和化学惰性:锌和镍的添加可以提高合金的耐腐蚀性和化学惰性。这使得铜锌镍铝合金靶材在恶劣环境下仍能保持稳定性能,延长使用寿命。

      4.可定制性:铜锌镍铝合金靶材的形状、尺寸和表面状态等可以根据客户需求进行定制。这种灵活性使得它能够满足不同应用领域对靶材的特殊要求。

      5.优良的机械性能:合金靶材通常具有较高的硬度和强度,使得在溅射过程中能够保持靶材的稳定性和耐用性。

铜锌镍铝合金靶材的生产步骤通常包括以下几个环节:

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一、准备原材料:

      材料选择:根据所需靶材的成分比例,选择高纯度的铜、锌、镍、铝等金属作为原材料。

      预处理:对原材料进行清洗、烘干等预处理步骤,以去除表面的杂质和水分,确保后续熔炼和加工的质量。

二、熔炼

      熔炼:将预处理后的原材料按照一定比例放入熔炼炉中,进行高温熔炼。熔炼过程中需要控制炉温和熔炼时间,以确保合金成分均匀。

三、铸造与成形:

     1. 浇注:将熔炼好的合金熔体浇注到预先准备好的模具中,进行冷却凝固。模具的形状和尺寸应根据所需靶材的形状和尺寸进行定制。

     2. 脱模与初加工:待合金凝

四、热处理与晶粒控制:

     1. 热处理:对初加工后的靶材进行热处理,如退火、淬火等,以改善其内部组织和性能。热处理过程中需要控制加热温度、保温时间和冷却方式等参数。

     2. 晶粒控制:通过热处理过程中的参数调整,控制靶材内部的晶粒大小和分布,以提高其溅射性能和薄膜质量。

五、精加工与表面处理:

      精加工:对热处理后的靶材进行进一步的精加工,如车削、铣削、磨削等,以达到所需的尺寸和形状精度。

六、质量检验与包装:

     1. 质量检验:对加工好的靶材进行质量检验,包括尺寸、纯度、结构等方面的检测,确保产品符合规定标准。

     2. 包装:将检验合格的靶材进行真空包装以防止其与环境中的氧气、水分等发生反应,保持其质量和性能。





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