靶材的制作方法

　　靶材是在电子信息行业中经常使用到的一种材料，虽然它的用途广泛，但寻常大众对于这种材料都了解不深，许多人都很好奇靶材的制作方法是什么?下面北京瑞弛的技术部专家就给我们介绍下靶材的制作方法。

　　靶材的制作方法

　　1、铸造法

　　铸造法是将一定成分配比的合金原料给熔炼起来，之后再将熔炼后得到的合金溶液浇到模具中，行成铸锭，再经过机械加工后就形成了靶材。铸造法一般需要在真空中熔炼铸造，常见的铸造方法有这几种：真空感应熔炼、真空电弧熔炼以及真空电子轰击熔炼，它的优点是制作的靶材杂质含量小，密度较高，能够大型化制作;缺点是如果是熔炼熔点和密度差别较大的两种及以上的金属时，常规的熔炼法很难制成成分均匀的合金靶材。

　　2、粉末冶金法

　　粉末冶金法是将一定成分配比的合金原料熔炼，之后再将熔炼后得到的合金溶液浇铸成铸锭，把浇成的铸锭粉碎，将粉碎后的粉末静压成型，然后高温烧结形成靶材。这样做成的靶材优点是成分均匀;缺点是密度低，杂质含量较高。常用到的粉末冶金工业有冷压、真空热压以及热等静压这几种。