钛靶产品详细参数:
钛靶材产品详情:
钛靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)和磁控溅射(Magnetron Sputtering)的材料,其中PVD主要用于生产高级涂层,而Magnetron Sputtering主要用于制作半导体芯片和电子元器件。
二、钛靶材的制备工艺
原材料挑选:
由于钛靶材主要用于镀膜工艺,选择99.99%纯度的钛块作为原材料是常见的。一个好的原料应该没有明显的外表缺陷如氧化、不纯物、裂痕等,确保原材料的质地均匀且纯度高。
熔炼:
在熔炼阶段,使用真空电弧熔炼炉将钛原料加热至超过1668摄氏度(钛的熔点),使原材料完全熔化。为了防止气体杂质混入,整个过程需要在高真空环境中进行。一些特定应用可能会要求在护气(如氩气)的环境中进行,来保护靶材不被氧化。
锻造:
在这个阶段,液态钛被倒入模具中冷却固化,然后使用液压机对其进行力量均匀的压制。在锻造过程中,因为必须保持一定的温度以保证材料的延展性,所以常常会有加热和保温的步骤。
粗加工:
在此阶段,靶材会首次被机械加工到适用的形状和大小。这可能包括数控车床或者数控铣床的使用,以精确切割和形状化靶材。
热处理:
多数情况下,靶材需要进行热处理,如固溶处理或退火,在800-1000°C的范围内处理数小时。这些处理的目的是改善材料微观结构,增强其强度和韧性。
表面精加工:
经过以上处理后,靶材需进行表面精加工,比如研磨和抛光。首先,大概用研磨纸进行大面积的研磨,然后逐渐降低研磨纸的粗度进行细研磨。
三、特点
1.高压力:钛靶材具有高密度、高耐热性和高压力,能够在复杂的环境下保持其性能。
2.化学稳定性:钛靶材具有良好的化学稳定性,使用寿命长。
3.高成本:钛靶材具有高成本,但由于其优异的性能,在高技术领域得到广泛应用。
四、应用领域
1.半导体领域:钛靶材是半导体芯片制造过程中重要的原材料之一,是制作晶体管、电路等元件的关键材料。
2.工业领域:钛靶材可用于制作高档涂料、防腐蚀材料等,广泛应用于汽车、制造业等领域。
3.医疗领域:钛靶材具有生物相容性和生物可吸收性等特点,可用于制作人工关节、牙科种植体等医疗器械。
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